最近看了有关磁控溅射仿真模拟的方法,有很多软件都可以进行Monte_Carlo模拟仿真,例如matlab,但这个需要自己去些一些数学模型,比较复杂。有一个比较简单的仿真工具叫SRIM。可以输入入射粒子数据和靶材数据,可估算离子能量损失,靶材损失,溅射产额等整个过程。其基本界面和输出截面如图所示:官方下载网址及其详细说明书:www.srim.org[caption id="attachment_421" align="aligncenter" width="300" caption="srim输出界面"][/caption]srim软件界面★ 收藏 赏 分享 本文固定链接: http://www.ttfde.top/index.php/post/88.html 转载请注明: admin 2011年09月14日于 TTF的家园 发表 作者:admin TTF的家园-www.ttfde.top 个人博客以便写写东西,欢迎喜欢互联网的朋友一起交流! TTF的家园 站点 QQ交谈
《本文》有 0 条评论